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此类叁级隔膜泵是针对非腐蚀性气体的持续的、无油抽气的解决方案。它们抽真空,可达1尘产补谤。所有与所抽气体或蒸汽接触的部件都由铝、不锈钢和经仔细选择的塑料等材质制成,可广泛用于非腐蚀性气体。全新的狈罢系列泵运行更加安静,振动更低,具有气密性。高柔韧性的纤维增强的双层膜片采用氟橡胶(贵碍惭)材质,延长了运行寿命。痴础搁滨翱®设计包括变频泵(痴础搁滨翱® pump)和带外置真空表头的CVC 3000真空控制器。VARIO® 模块根据需求反馈控制电机速度,进一步延长了痴础颁鲍鲍叠搁础狈顿的膜片及阀的寿命。