RC 6化学杂交泵是将一个双级旋片泵和一个双级化学隔膜泵结合在一起。隔膜泵用以维持油腔内的真空度,使溶剂蒸汽的分压保持在它们的露点之下,大大减少氧化性或腐蚀性气体的冷凝。
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