该真空系统采用一个真空泵同时进行两个独立的真空应用的操作,。每个真空端口安装一个带电磁阀的CVC 3000真空控制器进行真空控制。采用MD 4C NT三级化学隔膜泵作为基础泵,可满足绝大部分高沸点溶剂的真空需求。该泵的抽速足够大,允许同时进行两个大气载的操作。两个真空端口都内置止回阀,防止交互污染或干扰。出气口废气冷凝器可实现溶剂回收效果,有效循环利用溶剂同时保护环境。
上一产物:PC 3 / RZ 6
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